技術(shù)編號：2683632
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于無掩模光刻，特別涉及一種基于數(shù)字微鏡的無掩模光刻對準(zhǔn)直O(jiān)背景技術(shù)隨著微光、機、電等技術(shù)的迅猛發(fā)展，微細(xì)加工技術(shù)得到了迅速發(fā)展。微光學(xué)元件在通訊、軍事、空間技術(shù)、超精加工、生物醫(yī)學(xué)以及信息處理等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。這使得科研人員對微光學(xué)相關(guān)的設(shè)計、制作及應(yīng)用技術(shù)展開了廣泛研究。微光學(xué)在設(shè)計理論與制作方法上已有了很大的發(fā)展，為了進一步擴大微光學(xué)元件的應(yīng)用領(lǐng)域，對其制作方法也提出了更高的要求。因此，研究便捷、有效、實時、靈活的微光學(xué)元件的制作方法仍然是...
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