技術(shù)編號：2686232
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，屬于光刻。背景技術(shù)在球面光學(xué)元件上加工微細(xì)圖形由光刻工藝來實(shí)現(xiàn)，其工藝步驟為，在光學(xué)元件的表面涂布一層厚度均勻的光刻膠膜，然后曝光、顯影及刻蝕，得到所需微細(xì)圖形。所述球面光學(xué)元件包括凸球面光學(xué)元件和凹球面光學(xué)元件。申請?zhí)枮?00810050936. X的一件中國發(fā)明專利申請公開了一項(xiàng)名稱為“凹球面光學(xué)器件旋涂光刻膠的方法”的技術(shù)方案，該方法是在凹球面光學(xué)器件開口向上并靜置的狀態(tài)下，將光刻膠注入到凹球面的中心處，然后立即將凹球面光學(xué)器件轉(zhuǎn)為開...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。