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微機電系統(tǒng)雙穩(wěn)態(tài)光學開關(guān)及其使用方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2686804

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這些技術(shù)教導大體上涉及MEMS光學開關(guān)。背景技術(shù)光學開關(guān)是沿著光學網(wǎng)絡(luò)的選定光纖傳送光學信號的裝置。這些開關(guān)構(gòu)成現(xiàn)代光學網(wǎng)絡(luò)的基礎(chǔ)構(gòu)建基塊?,F(xiàn)有技術(shù)光學開關(guān)主要是基于執(zhí)行機械運動、改變波導耦合比且執(zhí)行偏振旋轉(zhuǎn)的機構(gòu)?;跈C械繼電器的光學開關(guān)具有大尺寸。在MEMS技術(shù)中已重在關(guān)注小尺寸的光學開關(guān)。其中,基于MEMS靜電旋轉(zhuǎn)鏡的裝置是最常見的一種方法。然而,這些裝置需要高電場來產(chǎn)生足夠的激勵力,這導致需要成本高的氣密封裝。此外,這些裝置是非閂鎖的,且在失去外部...
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