技術(shù)編號(hào)：2687968
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于將圖像圖案(像圖，image pattern)投影到諸如晶片的目標(biāo)表面上的光刻系統(tǒng)，其中控制數(shù)據(jù)耦合至控制單元以通過光信號(hào)控制曝光投影，從而使用自由空間互連(自由空間互接，free space interconnect),尤其涉及一種系統(tǒng),其中這樣的控制單元被包含在非常接近或在該投影空間的范圍內(nèi)，更具體地涉及一種多光束無掩模光刻系統(tǒng)。本發(fā)明總體上仍然涉及帶電粒子和基于光投影的光刻系統(tǒng)。背景技術(shù)這樣的系統(tǒng)是已知的，例如從以本申請(qǐng)人的名義申請(qǐng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。