技術(shù)編號：2688982
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造裝備，主要涉及一種配裝波紋管垂向解耦重力補(bǔ)償器的微動臺。背景技術(shù)光刻機(jī)是極大規(guī)模集成電路制造中重要的超精密裝備之一。光刻機(jī)分辨率、套刻精度、產(chǎn)率一直是人們追求的光刻機(jī)三大性能指標(biāo)，而光刻機(jī)工件臺技術(shù)作為光刻機(jī)三大核心技術(shù)之一，對于提升光刻機(jī)上述指標(biāo)至關(guān)重要。工件臺系統(tǒng)作為光刻機(jī)的核心組成部 分，其主要任務(wù)是實現(xiàn)高速和高加、減速度的超精密運動控制，即在高速和高加速度條件下具備納米定位精度，以配合光刻過程中的上片、預(yù)對準(zhǔn)、對準(zhǔn)、曝光和下片等...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。