技術(shù)編號(hào)：2695351
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于形成金屬化合物薄膜圖案的正型感光性組合物。 背景技術(shù)作為以ITO等金屬氧化物為代表的金屬化合物薄膜的形成方法，已知將含有金 屬絡(luò)合物的涂布液涂布于基體表面上，然后通過(guò)煅燒將金屬絡(luò)合物熱分解，形成金屬氧 化物薄膜的技術(shù)。作為金屬絡(luò)合物的配體，多數(shù)使用乙二胺四乙酸、二乙醇胺、乙酰丙 酮等在分子中具有兩個(gè)以上氨基、羥基等取代基的多齒配體。并且，作為提高耐裂縫性 和附著性的其它配體，已知使用具有特定芳香族骨架的多齒配體(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。另一方面，如...
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