技術(shù)編號:2696859
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種掩膜板,包括襯底和沉積在所述襯底的一側(cè)的薄膜層;所述襯底上設(shè)置有通孔,所述薄膜層與所述通孔對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置有掩膜圖案,所述薄膜層的材質(zhì)為金屬或金屬氧化物。上述掩膜板包括襯底和沉積在襯底一側(cè)的薄膜層,襯底上設(shè)置有通孔,并且薄膜層與所述通孔對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置有掩膜圖案,襯底的材質(zhì)為金屬或金屬氧化物。和傳統(tǒng)的掩膜板相比,這種掩膜板的襯底的材質(zhì)不局限于透明材質(zhì),而是不透明材質(zhì),消除了傳統(tǒng)的掩膜板對襯底的材質(zhì)選擇的限制。本發(fā)明還提供一種上述掩膜板的制備方法...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。