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掩膜板及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2696859

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本發(fā)明公開了一種掩膜板,包括襯底和沉積在所述襯底的一側(cè)的薄膜層;所述襯底上設(shè)置有通孔,所述薄膜層與所述通孔對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置有掩膜圖案,所述薄膜層的材質(zhì)為金屬或金屬氧化物。上述掩膜板包括襯底和沉積在襯底一側(cè)的薄膜層,襯底上設(shè)置有通孔,并且薄膜層與所述通孔對應(yīng)的區(qū)域設(shè)置有掩膜圖案,襯底的材質(zhì)為金屬或金屬氧化物。和傳統(tǒng)的掩膜板相比,這種掩膜板的襯底的材質(zhì)不局限于透明材質(zhì),而是不透明材質(zhì),消除了傳統(tǒng)的掩膜板對襯底的材質(zhì)選擇的限制。本發(fā)明還提供一種上述掩膜板的制備方法...
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