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背面穿硅通孔與金屬連線制法、和背面用的光掩模制法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2696869

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本發(fā)明涉及。背面穿硅通孔與金屬連線制法包括將具有穿孔中間制作技術(shù)制得的穿硅通孔的半導(dǎo)體基板的正面形成一凸塊并與載板結(jié)合、將半導(dǎo)體基板的背面薄化以露出穿硅通孔、于半導(dǎo)體基板的背面涂布光敏性介電層、將光敏性介電層圖案化而具有開(kāi)口露出穿硅通孔、形成凸塊下金屬層、于凸塊下金屬層上形成金屬層、形成背面金屬連線層圖案、移除多余的凸塊下金屬層、以及將半導(dǎo)體基板與載板分開(kāi)。將光敏性介電層圖案化以具有開(kāi)口露出穿硅通孔的方式,可經(jīng)由利用背面用的光掩模達(dá)成。背面用的光掩模的穿硅...
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