技術編號：2697672
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及運動定位，尤其是指一種雙臺定位交換系統(tǒng)。背景技術 雙臺定位交換系統(tǒng)用于兩承載裝置的位置交換。所述承載裝置在基臺、X向導軌、Y向導軌、運動定位檢測裝置、線性光柵等的相互配合下，完成其位置的交換。上述系統(tǒng)可被應用于光刻機制造領域。光刻機是集成電路芯片制造中重要的加工設備之一，用于將芯片的設計圖形，曝光轉印于硅片表面的光刻膠上。作為光刻機主要組成部分的硅片臺定位交換系統(tǒng)，它的運行精度和運動速度，很大程度上影響了光刻機的生產效率。一道完整的曝光工序包括上...
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