技術(shù)編號:2697872
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種拒墨性良好且掩膜的線寬的重現(xiàn)良好的負型感光性樹脂組合物和使用該組合物而得到的均質(zhì)的分隔壁。一種負型感光性樹脂組合物,其特征在于,其含有拒墨劑(A)、光聚合引發(fā)劑(B)以及堿可溶性樹脂(C),所述拒墨劑(A)具有包含-CFXRf[X為氫原子、氟原子或三氟甲基,Rf為可以具有醚性氧原子的碳原子數(shù)20以下的、氫原子的至少1個被氟原子取代的氟烷基、或氟原子]或-(SiR1R2-O)n-SiR3R4R5[R1、R2、R3、R4為氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳...
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