技術(shù)編號：2698172
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種在光刻系統(tǒng)的光刻系統(tǒng)單元中處理基板的方法，光刻系統(tǒng)單元包括至少兩個基板預(yù)備單元（360a-360d）、包括至少第一和第二基板位置的負(fù)載鎖定單元（310）、和用于在基板預(yù)備單元與負(fù)載鎖定單元之間轉(zhuǎn)移基板的操縱基板的機器人。該方法包括將一連串待曝光的基板提供給機器人，這些基板包括一第N個基板、一在該第N個基板的前一個的第N-1個基板、以及一在該第N個基板的后一個的第N+1個基板；借助于機器人將第N個基板轉(zhuǎn)移至基板預(yù)備單元中的第一個；將第N個基板夾箝在第一基...
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