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具有基底板的真空腔室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2698533

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一種目標(biāo)加工處理機(jī)械(100),譬如光刻機(jī)或檢測機(jī)械,其包括剛性基底板(150)、用于投射一或更多光學(xué)或粒子束于目標(biāo)(130)上的投射柱(101)、支撐該投射柱的支撐框架(102),該支撐框架由基底板支撐并且固定到該基底板、包括用于負(fù)載該目標(biāo)的可移動(dòng)部分(128)以及由基底板所支撐并且固定到該基底板的固定部分(132、133)的載臺(tái)、用于檢測由該柱所投射的一或更多射束的射束傳感器,該射束傳感器至少部分地由該基底板支撐并且固定到該基底板、以及密封該支撐框架與...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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