技術(shù)編號(hào)：2698960
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板處理裝置(10)，其包括支撐框架(60)，用于將輻射投射至待處理基板上的輻射投射系統(tǒng)(20)，用于支撐基板的基板支撐結(jié)構(gòu)(30)，和流體輸送系統(tǒng)(150)。該輻射投射系統(tǒng)包括冷卻裝置(130)，且由支撐框架支撐并與其振動(dòng)解耦，使得支撐框架的在預(yù)定最大頻率之上的振動(dòng)基本從輻射投射系統(tǒng)分離。該流體輸送系統(tǒng)包括固定在兩點(diǎn)(151，152)處的至少一個(gè)管(140)，并包括撓性部分。撓性部分的主要部分在與基板支撐結(jié)構(gòu)表面基本平行的平面上延伸。撓性部分的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。