技術編號：2700434
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供了一種，其中，用于將母基板分離成多個單元基板的所述基板分離裝置包括多個可提升的分離部件，所述多個可提升的分離部件設置在所述母基板上方并且布置在一個方向上，所述多個可提升的分離部件經配置以支撐住所述母基板中的至少一個區(qū)域；以及驅動單元，所述驅動單元經配置以在不同的時刻分別地提升所述多個分離部件。因此，根據(jù)示例性實施例，當所述母基板與單元基板分離時，所述單元基板或與所述單元基板相鄰的所述母基板的損壞可以最小化。因此，與根據(jù)相關技術的情況相比，可以獲得...
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