技術編號：2700932
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及對涂布了涂布液的基板進行加熱處理的加熱裝置以及包括該加熱裝置的涂布·顯影裝置。背景技術 作為在半導體晶片(以下稱作“晶片”)或LCD(液晶顯示器)用玻璃基板上形成抗蝕劑圖案的裝置，人們使用著將抗蝕劑涂布在晶片上并對曝光后的晶片進行顯影的涂布·顯影裝置。該裝置中組裝有被稱作烘干裝置的加熱裝置，作為例如對涂布了涂布液的晶片進行加熱的裝置，還能夠起到將抗蝕劑液中的溶劑烘干的作用。對于該加熱裝置，本發(fā)明人就這樣的方案進行了研究，即，用罩子將對晶片進行加熱...
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