技術(shù)編號：2702956
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種新型的感光膜清洗液，其包括季戊四醇、氫氧化鉀、有機胺、防腐蝕劑和溶劑。本發(fā)明提供的感光膜清洗劑感光膜清洗能力強且對半導(dǎo)體晶片圖案和基材腐蝕性較低。專利說明包含咪唑啉緩蝕劑的感光膜清洗液[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝制造，尤其涉及一種包含咪唑啉緩蝕劑的感光膜清洗液。背景技術(shù)[0002]在通常的半導(dǎo)體制造工藝中，通過在一些材料的表面上形成感光膜的掩膜，曝光后進行圖形轉(zhuǎn)移，在得到需要的圖形之后，進行下一道工序之前，需要剝?nèi)埩舻母泄饽?。在這個過...
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