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一種多光路曝光設(shè)備的內(nèi)層對(duì)位裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2703210

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本發(fā)明公開(kāi)了一種多光路曝光設(shè)備的內(nèi)層對(duì)位裝置,包括直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)印刷電路板(PCB)、空間光調(diào)制器(SLM)、SLM成像鏡筒、打標(biāo)裝置、圖像采集設(shè)備、圖像采集設(shè)備鏡筒,所述PCB吸附在所述直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上,所述SLM下端連接有所述SLM成像鏡筒,所述SLM成像鏡投影在所述PCB上,所述打標(biāo)裝置固定在所述PCB一側(cè),所述圖像采集設(shè)備下端連接有所述圖像采集設(shè)備鏡筒,所述圖像采集設(shè)備通過(guò)所述圖像采集設(shè)備鏡筒采集所述PCB板上的圖像。優(yōu)選地,所述打標(biāo)裝置為uvLED或...
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