技術(shù)編號：2703394
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種光刻機照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機構(gòu)，包含固定在底板上的前端支撐裝置、第一后端支撐裝置、第二后端支撐裝置、連接第一后端支撐裝置和第二后端支撐裝置的后端支撐，所述前端支撐裝置、后端支撐和照明鏡組單元固定連接，本發(fā)明調(diào)整支撐機構(gòu)可以實現(xiàn)照明鏡組單元的安裝調(diào)整和支撐固定，對照明鏡組單元進行X、Y、Z方向及繞其旋轉(zhuǎn)的六個自由度方向進行調(diào)整，安裝調(diào)整固定方便，具有較高的定位精度。專利說明光刻機照明系統(tǒng)照明鏡組單元的調(diào)整支撐機構(gòu)[0001]本發(fā)明涉及光刻機，特...
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