技術(shù)編號：2703541
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種緊湊型光刻投影物鏡，構(gòu)成包括沿其光軸方向從物面一側(cè)依次包括第一透鏡至第五透鏡、孔徑光闌、第六透鏡至第十透鏡，本發(fā)明采用對稱式結(jié)構(gòu)，可以有效地校正垂軸像差，同時采用正負光焦度平衡匹配有效地校正軸向像差，滿足瑞利判據(jù)的要求；可用于偏振照明系統(tǒng)的偏振態(tài)測量實驗、光瞳濾波實驗或照明方式優(yōu)化實驗等等。采用盡量少的透鏡實現(xiàn)大的數(shù)值孔徑，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕、體積小，有利于各種實驗的開展。專利說明緊湊型光刻投影物鏡[0001]本發(fā)明涉及光刻投影物鏡，特別是一種用于偏振照...
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