技術(shù)編號：2706814
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。提供一種抗蝕劑層的薄膜化裝置，在具備通過浸漬槽中的薄膜化處理液使抗蝕劑層中的成分膠束化的薄膜化處理單元，和通過膠束除去液將膠束除去的膠束除去處理單元的抗蝕劑層的薄膜化裝置中，能夠抑制膠束除去液向薄膜化處理單元的倒流及抑制抗蝕劑層表面的薄膜化處理液的流動，并且抑制薄膜化處理液從浸漬槽的帶出。通過在薄膜化處理單元與膠束除去處理單元的邊界部的運送輥對上設置有膠束除去液截斷罩的薄膜化裝置、在浸漬槽的出口輥對與膠束除去處理單元的入口輥對之間設置有斷液輥對的薄膜化裝置...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。