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具有波導(dǎo)的集成光電子器件以及其制造工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2709666

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一種集成電子器件由第一表面(S1)和第二表面(S2)界定,并且包括由半導(dǎo)體材料制成的本體(2),在本體內(nèi)部形成在探測(cè)器(30)和發(fā)射器(130)之間選擇的至少一個(gè)光電子部件;以及光學(xué)路徑(OP),該光學(xué)路徑至少部分地為引導(dǎo)類(lèi)型的并且在第一表面和第二表面之間延伸,光學(xué)路徑穿過(guò)本體。光電子部件通過(guò)光學(xué)路徑光學(xué)耦合到自由空間的第一部分和自由空間的第二部分,該自由空間的第一部分和第二部分被分別布置在第一表面上方和第二表面下方。專(zhuān)利說(shuō)明具有波導(dǎo)的集成光電子器件以及其...
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