技術(shù)編號(hào):2711823
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種極紫外光刻光源收集及照明系統(tǒng),包括前端反射鏡組和后端反射鏡組兩部分,前端反射鏡組和后端反射鏡組之間通過支撐結(jié)構(gòu)安裝固定。前端反射鏡組中每層反射面由不同的拋物線段繞光軸旋轉(zhuǎn)而成,極紫外光源中心位于拋物線的焦平面并處在光軸上。光源發(fā)出的光線經(jīng)各拋物線反射后,以平行光路射出;后端反鏡組各環(huán)帶狀圓錐面將前端反射面射出的平行光路分割成多個(gè)細(xì)窄平行光路,并全部反射到最終的照明點(diǎn)處。本發(fā)明使極紫外光刻機(jī)光源收集系統(tǒng)在進(jìn)行光線收集的同時(shí),也能夠?qū)崿F(xiàn)照明系統(tǒng)的功能,完成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。