技術(shù)編號：2712451
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種高性能液晶光掩膜及其應(yīng)用。該光掩膜包括，成像控制器，均光層，導(dǎo)光層，第一光學(xué)偏轉(zhuǎn)片，液晶層和第二光學(xué)偏轉(zhuǎn)片；所述液晶層夾設(shè)于第一光學(xué)偏轉(zhuǎn)片與第二光學(xué)偏轉(zhuǎn)片之間；第一光學(xué)偏轉(zhuǎn)片與液晶層接觸的表面上設(shè)置有第一透明電極層；第二光學(xué)偏轉(zhuǎn)片與液晶層接觸的表面上設(shè)置有第二透明導(dǎo)電層；所述第一光學(xué)偏轉(zhuǎn)片與第二光學(xué)偏轉(zhuǎn)片的偏振方向夾角為90度；所述導(dǎo)光層設(shè)置于第一光學(xué)偏轉(zhuǎn)片的光入射的一側(cè)，所述均光層設(shè)置于導(dǎo)光層的光入射的一側(cè)。本發(fā)明提供了一種無需更換掩膜實現(xiàn)多掩膜套印...
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