技術(shù)編號(hào)：2714374
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種使用能高精度地對(duì)基板相對(duì)于光束的位置進(jìn)行計(jì)測的位置計(jì)測技術(shù)的位置計(jì)測裝置、位置計(jì)測方法、以及對(duì)準(zhǔn)裝置及圖案描畫裝置。本發(fā)明包括拍攝部，在同一視野內(nèi)，對(duì)于穿過基板中對(duì)光束具有透過性的第1透過部的光束、及第1透過部進(jìn)行拍攝；及位置導(dǎo)出部，根據(jù)拍攝部所拍攝的圖像來求出基板的位置。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及一種對(duì)基板相對(duì)于從光學(xué)頭(head)射出的光束(beam)的位置進(jìn)行計(jì)測的位置計(jì)測技術(shù)、以及使用該位置計(jì)測技術(shù)的對(duì)準(zhǔn)(alignmen...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。