技術編號：2716753
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供了一種，根據(jù)同一產(chǎn)品的圖形層次以及空閑的不同類型光刻機的數(shù)量確定每一圖形層次光刻工藝所使用的光刻機，其中，用于第一類光刻機的光刻版版圖由整數(shù)倍的用于第二類光刻機的光刻版版圖組成，所述第一類光刻機的曝光視場大于所述第二類光刻機的曝光視場。如此，可以在同一產(chǎn)品的光刻工藝中采用多種型號的光刻機，并且仍然可實現(xiàn)產(chǎn)品圖形的對準，在不犧牲第一類光刻機效率的前提下，兼容第二類光刻機的效率，充分發(fā)揮在線各類型光刻機的產(chǎn)能。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及...
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