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一種高效散熱結(jié)構(gòu)的集成光電波導(dǎo)調(diào)制器及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2716764

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本發(fā)明提供一種高效散熱結(jié)構(gòu)的集成電光波導(dǎo)調(diào)制器及其制備方法,該發(fā)明采用了一種高效散熱結(jié)構(gòu),利用金剛石作為鈮酸鋰襯底的散熱材料,并采用液體毛細鍵合工藝實現(xiàn)鈮酸鋰襯底與金剛石薄片之間的良好接觸,不會引入熱阻和光學(xué)損耗,利用金剛石的高熱導(dǎo)率特性實現(xiàn)對電光波導(dǎo)調(diào)制器內(nèi)部熱量的疏散,實現(xiàn)調(diào)制器內(nèi)部熱場的均勻分布,本發(fā)明的調(diào)制器具有結(jié)構(gòu)簡單、工藝容易實現(xiàn)、成本低等優(yōu)點,可廣泛應(yīng)用于激光通信、光纖傳感和光信號處理等領(lǐng)域。專利說明 [0001]本發(fā)明屬于激光通信,涉...
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