技術(shù)編號：2717543
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物，特別涉及正型的感光性樹脂組合物。進(jìn)而詳細(xì)地， 涉及可通過使用光刻技術(shù)形成圖案膜的感光性樹脂組合物，進(jìn)而涉及具有使用該感光性樹 脂組合物形成的層間絕緣膜或平坦化膜的平板顯示器(FPD)或半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)在以LSI等半導(dǎo)體集成電路的制造、FPD顯示面的制造、熱位差(寸一 > ^ K )等電路基板的制造等為代表的廣泛領(lǐng)域中，為了進(jìn)行微細(xì)元件的形成或微細(xì)加工，一直以來使用光刻技術(shù)。在該光刻技術(shù)中，為了形成抗蝕圖形( > ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。