技術(shù)編號：2717911
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提出了一種用于夾緊光罩邊緣的光罩夾具，包括手柄、與手柄固定在一起的活動夾、和設(shè)于光罩夾具內(nèi)部的彈簧，所述彈簧與所述活動夾、手柄均相連接。光罩夾具具有能夠活動的活動夾，被一彈簧控制，能夠夾住光罩的邊緣，不會污染所述光罩，同時(shí)由于光罩夾具能夠牢靠的夾緊所述光罩，防止所述光罩脫落，避免對所述光罩造成損傷，也能夠避免對下方的透鏡造成破壞，提高了取出光罩的成功率。專利說明光罩夾具[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩夾具。背景技術(shù)[00...
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