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一種用于識(shí)別光掩膜待量測(cè)圖形的結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2718345

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本實(shí)用新型提供一種用于識(shí)別光掩膜待量測(cè)圖形的結(jié)構(gòu),至少包括基板及位于其上的圖形層;所述圖形層表面具有與所述基板接觸的若干凹槽;所述若干凹槽的分布構(gòu)成第一矩陣;所述第一矩陣每行中相鄰兩凹槽間的圖形層形成第二矩陣單元;當(dāng)所述第一矩陣任意一行中連續(xù)分布的若干凹槽為待量測(cè)結(jié)構(gòu)時(shí),與該待量測(cè)結(jié)構(gòu)中首末兩個(gè)凹槽分別左、右相鄰的兩個(gè)第二矩陣單元上具有識(shí)別標(biāo)記;當(dāng)所述第二矩陣任意一行中連續(xù)分布的若干第二矩陣單元為待量測(cè)結(jié)構(gòu)時(shí),與該待量測(cè)結(jié)構(gòu)中首末兩個(gè)單元分別左、右相鄰的兩...
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