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膜形成組合物、使用此膜形成組合物的圖案形成方法以及立體模型的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2726353

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本發(fā)明涉及一種膜形成組合物、使用此膜形成組合物的圖案形成方法以及立體模 型。更詳細(xì)來(lái)說(shuō),是涉及一種膜形成組合物、使用此膜形成組合物的圖案形成方法以及 立體模型,所述膜形成組合物能夠感應(yīng)光和熱中的至少任意一者來(lái)控制所形成的膜在顯 影液中的溶解度,以此增強(qiáng)由顯影后的膜的凹凸所產(chǎn)生的對(duì)比。技術(shù)背景光刻技術(shù)是半導(dǎo)體元件加工的核心技術(shù),隨著近年來(lái)半導(dǎo)體集成電路(ic)的高集 成化,配線(xiàn)正在進(jìn)一步微細(xì)化。尤其是在元件的集成度超過(guò)iooo萬(wàn)個(gè)的被稱(chēng)為超大規(guī)模集成電路(S...
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