技術(shù)編號：2726716
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明總體上涉及掃描儀系統(tǒng)，尤其涉及MEMS掃描儀系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)顯微機械加工的機電系統(tǒng)(MEMS)掃描4義采用MEMS鏡來偏轉(zhuǎn) 入射在這種MEMS鏡上的激光束。這種MEMS鏡響應于控制信號而 在一個或兩個軸上樞轉(zhuǎn)，這樣就按照要求將這種入射激光束偏轉(zhuǎn)?？?將所反射的激光束投射在屏幕上、光傳感器上或投射到觀察人員的眼 睛中。MEMS掃描儀的使用的實例包括加熱顯示器、手持投射器件、 基于激光的投射器件和柔性光刻等。MEMS掃描儀可包括處理入射激 光束和反射...
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