技術(shù)編號(hào)：2726776
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使用化學(xué)增強(qiáng)的光刻膠，來(lái)形成具有更少顯影缺陷和好的輪廓的抗蝕圖形的方法，并涉及一種被用在該方法中的用于減少顯影缺陷的組合物。更特別的是，本發(fā)明涉及一種用于形成抗蝕圖形的方法，其能通過(guò)圖像曝光在其表面上形成有化學(xué)增強(qiáng)的光刻膠層的大直徑基質(zhì)，形成具有良好輪廓的抗蝕圖形，化學(xué)增強(qiáng)的光刻膠層用來(lái)防止在整個(gè)大直徑基質(zhì)上顯影缺陷的產(chǎn)生，本發(fā)明還涉及一種在該方法中使用的減少顯影缺陷的組合物?，F(xiàn)有技術(shù)在制造半導(dǎo)體元件中，使用了平板印刷技術(shù)，其中光刻膠層形成在...
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