技術(shù)編號(hào)：2728505
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在光刻中增強(qiáng)圖案轉(zhuǎn)移的系統(tǒng)和方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種具有可變掩模性質(zhì)的硬掩模系統(tǒng)。背景技術(shù)本發(fā)明涉及光刻和光刻投影設(shè)備領(lǐng)域，光刻投影設(shè)備包含用于提供輻射投影束的輻射系統(tǒng)、用于支撐圖案化裝置的支撐結(jié)構(gòu)、用于保持基板的基板臺(tái)和用于將圖案化的光束投影到基板的目標(biāo)部分上的投影系統(tǒng)，圖案化裝置用于根據(jù)所希望的圖案來(lái)圖案化投影束。這里采用的術(shù)語(yǔ)“圖案化裝置”應(yīng)當(dāng)廣義解釋為指的是可以用于對(duì)應(yīng)于在基板的目標(biāo)部分中建立的圖案將圖案化截面賦予入射輻射束的裝...
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