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激光加工方法及加工裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2729373

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本發(fā)明涉及向加工對(duì)象物體照射激光束進(jìn)行加工的激光加工方法及激光加工裝置。背景技術(shù) 圖9是表示形成槽的現(xiàn)有的激光加工裝置的概略圖。從激光光源51以例如頻率1kHz射出脈沖激光束。用均化器52將激光束的光束截面的脈沖能量密度均勻(頭部平均トツプフラツト)后,再用例如具有圓形貫通孔的遮光框53將光束截面形狀整形為圓形。經(jīng)反射鏡54反射后,經(jīng)過(guò)聚光透鏡55入射到基板56?;?6是例如在玻璃基體材料上形成有ITO膜的基板。激光束入射到基板56的ITO膜。ITO膜表...
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