技術(shù)編號：2729432
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別是指一種利用一標(biāo)記 有二不相平行的直線的校正元件來使一掃描坐標(biāo)系與一感應(yīng)坐標(biāo)系間的一 正交角度差歸零的坐標(biāo)校正方法。背景技術(shù)隨著時勢的發(fā)展與演進，許多產(chǎn)品在加工尺寸精準(zhǔn)度方面的要求，亦隨 之日趨嚴(yán)謹(jǐn)，特別是對于光電類或微機電類元件而言，其精準(zhǔn)度往往必須達 到納米等級的要求。然而，在光電類或微機電類元件的整個加工過程中，往 往不可避免地必須將待加工的工件輸送至特定的加工位置來進行加工作業(yè)， 甚至還可能會在工件尚處于運動狀態(tài)時，就進行特定的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。