技術編號：2732530
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微光學器件的反射鏡及其制造方法，具體是一種壓 電驅(qū)動的可變形反射鏡及其制造方法。技術背景可變形反射鏡不僅作為自適應光學系統(tǒng)的核心部件，擔負波前誤差校正的任 務，而且在天文望遠鏡以及詳査相機上也得到了應用。近幾年來還成功地在光束 凈化、光束整形、激光腔內(nèi)像差校正以及醫(yī)學人眼像差的檢測與校正等多方面都 得到了應用。結(jié)合MEMS技術制作出微型、集成化的可變形反射鏡將成為熱點。 典型的自適應光學系統(tǒng)是利用波前傳感器檢測入射光的波前畸變，然后通過控制 ...
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