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環(huán)形孔陣列結構的二維光子晶體的制作方法技術資料下載

技術編號:2733957

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本發(fā)明涉及一種環(huán)形孔狀結構的二維光子晶體的制作工藝,特別涉及聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)電子束膠在高劑量下曝光可由正型膠變?yōu)樨?型膠這一性質。背景技術上個世紀八十年代末,Yablonovitch在控制材料的輻射特性方面、John 在光子的局域化方面都做了開創(chuàng)性的工作,幾乎同時提出了光子晶體的概 念。光子晶體是用不同介電常數(shù)的物質重復排列而成的周期結構,在其光 波頻率與倒易空間的色散譜中,有可能出現(xiàn)貫穿整個譜圖的能隙,稱之為 光子禁帶。出現(xiàn)光子禁帶的可能性與...
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