技術(shù)編號：2734620
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻機(jī)投影物鏡波像差，特別是一種。背景技術(shù)投影物鏡是光刻機(jī)系統(tǒng)的核心部件之一。投影物鏡波像差是影響步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)性能的重要指標(biāo)，可以用澤尼克多項式及其系數(shù)來表征。波像差直接影響光刻機(jī)成像質(zhì)量、光刻分辨率以及關(guān)鍵尺寸(CD)均勻性等光刻技術(shù)指標(biāo)，因此投影物鏡波像差是光刻機(jī)中最關(guān)鍵的檢測指標(biāo)之一。隨著光刻技術(shù)的特征尺寸不斷減小，光刻機(jī)投影物鏡的像差容限變得越來越嚴(yán)苛。光刻投影物鏡的波像差檢測需求從低階像差擴(kuò)展到高階像差，從在這種前提下，研發(fā)能夠高...
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