技術(shù)編號：2735109
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種精密運(yùn)動控制裝置，尤其涉及一種可精確控制平面運(yùn) 動的氣浮磁控精密運(yùn)動平臺。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，人類的創(chuàng)造力也不斷在向微觀世界 發(fā)展。隨著現(xiàn)今微加工工藝發(fā)展，使得我們周邊越來越多笨重的機(jī)器被小巧而 方^更的裝置所代替。然而在微加工工藝中隨著制作器件的尺寸越來越小，精密定位操作系統(tǒng)顯得越來越重要。例如在IC芯片光刻、微型機(jī)械制造、精密測量等方面，精密運(yùn)動控制裝置的地位顯得尤為突出。因此，對它的研究越來越受 到國內(nèi)外研究者...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。