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用于光刻的包含糖組分的組合物及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2739064

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本申請(qǐng)根據(jù)35U.S.C. § 119(e)要求2010年11月15日提出的US臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)為61/413825的權(quán)益,所述申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以參考的形式被引入這里。本發(fā)明涉及特別適用于浸沒平版印刷方法的新型光刻膠組合物。一方面,本發(fā)明優(yōu)選的光刻膠組合物含有一種或多種含糖的材料。優(yōu)選地,所述一種或多種含糖的材料與光刻膠的單獨(dú)樹脂組分基本上不互溶。特別優(yōu)選的本發(fā)明的光刻膠用堿性水溶液顯影時(shí)可表現(xiàn)出降低的缺陷。背景技術(shù)光刻膠是用來將圖像轉(zhuǎn)移到基材上的光敏膜。在基...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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