技術(shù)編號(hào)：2739266
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種工件臺(tái)，特別涉及用于半導(dǎo)體設(shè)備或液晶顯示器制造設(shè)備 上可切換工位的六自由度精密定位臺(tái)。背景技術(shù)定位臺(tái)主要用于定位精度要求很高的場合，尤其是多個(gè)工位下的小行程微 調(diào)和定位，如半導(dǎo)體制造和光學(xué)及圖像對準(zhǔn)，定位臺(tái)作為分系統(tǒng)之一，通常要和其他分系統(tǒng)集成在一起工作，在安裝空間上十分有限，特別是在高度上，2006 年5月3日中國公開的"一種三自由度精密定位平臺(tái)"(公開號(hào)CN2777335Y), 其下平臺(tái)和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)之間通過平面滑動(dòng)軸承相接觸，通過安裝于下平...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。