技術(shù)編號：2740216
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。.本發(fā)明通常涉及一種包括能夠旋轉(zhuǎn)位移的振蕩部件的微振蕩元件。更具 體地，本發(fā)明例如涉及微鏡元件、加速傳感器、角速度傳感器以及振動元件。背景技術(shù)近年來，具有通過顯微機(jī)械加工技術(shù)形成的顯微結(jié)構(gòu)的元件已經(jīng)廣 泛應(yīng)用于各種。例如，在光通信，具有光反射功能的 微/j 、的微鏡元件己受到關(guān)注。在光通信中，利用光纖作為介質(zhì)來傳送光信號，并且通常使用光切 換裝置將光信號的傳輸路徑從一根光纖切換到另一根光纖。為實現(xiàn)良好 的光通信，光切換裝置在切換操作期間所需的特性包括大容量...
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