技術(shù)編號(hào)：2740619
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬清潔裝置，是對現(xiàn)在的改進(jìn)，具體涉及一種龍門式清 潔光罩之裝置。技術(shù)背景隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，晶圓代工已經(jīng)成為全球無法取代的技術(shù)之 一，再加上電子組件的尺寸愈來愈小，只要在制程上有一點(diǎn)小瑕疵，就會(huì)影 響電路效能，因此在制程中對于環(huán)境的清潔度要求高，若不嚴(yán)格把關(guān)，將來 產(chǎn)品的質(zhì)量問題，勢必受到威脅。在半導(dǎo)體制程中，有一道曝光制程，是先將一具有圖案之光罩置于晶圓 的上方，再利用一曝光光源透過光罩射于一晶圓上，之后將此晶圓浸入一顯 影液中，就可以在晶圓...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。