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光電混合基板的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2742721

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本發(fā)明涉及 一 種混合搭載有光波導(dǎo)路和安裝有光學(xué)元件的 電路的光電混合基才反的制造方法。背景技術(shù)到目前為止,光電混合基板是通過單獨制作電路基板和光 波導(dǎo)路,并利用粘接劑將電路基板和光波導(dǎo)路粘合而形成的。例如,如圖6所示,上述光電混合基板是如下形成的借助粘接 劑82 ,在形成有多層電路83的電路基板81上高精度地粘合有由 下敷層86、芯87和上敷層88構(gòu)成的光波導(dǎo)^各80。并且,在形成 于上述電路基板81上的安裝用焊盤(電路83的一部分)上倒裝 有發(fā)光元件1...
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