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激光修復(fù)裝置及激光修復(fù)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2744060

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本發(fā)明涉及向產(chǎn)品表面上的缺陷照射激光光束來修復(fù)缺陷的技術(shù), 其中,所述產(chǎn)品是通過在基板的表面上層疊一層以上用于形成電路的一 種以上的物質(zhì)而制造的。背景技術(shù)在FPD (FlatPanel Display平板顯示器)的制造工序中,例如,利 用使用多個(gè)光掩模的光刻工藝反復(fù)進(jìn)行圖形加工,同時(shí)利用蝕刻技術(shù)和/ 或?yàn)R射技術(shù)在玻璃基板上形成電極圖形和/或TFT (Thin Film Transistor 薄膜晶體管)。尤其是液晶顯示器(LCD Liquid Crysta...
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