技術(shù)編號(hào):2744060
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及向產(chǎn)品表面上的缺陷照射激光光束來修復(fù)缺陷的技術(shù), 其中,所述產(chǎn)品是通過在基板的表面上層疊一層以上用于形成電路的一 種以上的物質(zhì)而制造的。背景技術(shù)在FPD (FlatPanel Display平板顯示器)的制造工序中,例如,利 用使用多個(gè)光掩模的光刻工藝反復(fù)進(jìn)行圖形加工,同時(shí)利用蝕刻技術(shù)和/ 或?yàn)R射技術(shù)在玻璃基板上形成電極圖形和/或TFT (Thin Film Transistor 薄膜晶體管)。尤其是液晶顯示器(LCD Liquid Crysta...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。