技術(shù)編號(hào)：2745235
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。—般地，本發(fā)明的實(shí)施例涉及用于處理基板的裝置。本發(fā)明的實(shí)施例尤其涉及在平板顯示設(shè)備的制造過程中在基板上形成光阻層并且硬化該光阻層的裝置。 背景技術(shù)在制造液晶顯示設(shè)備之類的平板顯示設(shè)備的過程中，一般使用由硅或玻璃制成的 平板型基板，并且進(jìn)行多種處理以在基板上形成電路圖形。例如，可進(jìn)行淀積處理、光刻處 理、蝕刻處理、清潔處理、干燥處理等，以形成電路圖形。 光刻處理包括在基板上形成光阻層的涂布處理、硬化光阻層的軟烘處理、將所需 的圖形轉(zhuǎn)印到光阻層上的曝光處理、顯...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。