技術(shù)編號：2750152
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及適用于生產(chǎn)半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器的輻射敏感性樹脂組合物，更具體地說，本發(fā)明涉及可形成優(yōu)良圖案、顯示出優(yōu)異的基底粘附性以及可易于通過脫膜劑除去的用于生產(chǎn)半導(dǎo)體裝置或液晶顯示器的輻射敏感性樹脂組合物。背景技術(shù) 在生產(chǎn)半導(dǎo)體裝置如IC或LSI或液晶顯示器的加工過程中，精細(xì)圖案是這樣形成的在基底上形成光致抗蝕劑層，所述基底為硅基底，具有金屬層如鋁、鉬、鉻等的基底或具有金屬氧化物層如ITO(銦錫氧化物)的基底，將這種光致抗蝕劑層通過屏蔽圖案用UV光等進(jìn)行照...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。