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用于腔室狹縫閥及i/o的整合式局部襯底中心搜尋器的方法及設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2750504

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本發(fā)明一般而言涉及電子裝置及/或襯底處理系統(tǒng),并且更具體地涉及在處理腔 室內(nèi)定位取放(pick up and drop off)襯底晶片的理想位置。背景技術(shù)用于電子裝置中的襯底(例如半導(dǎo)體、玻璃等)的處理通常是在處理工具的一個(gè) 以上的處理腔室內(nèi)完成。襯底可經(jīng)由中央傳送腔室而在處理腔室之間移動(dòng)。狹縫閥連接該 中央傳送腔室至處理腔室。機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)并延伸以從處理腔室裝載及卸載襯底晶片。襯底必 須精準(zhǔn)定位在該機(jī)械臂(或葉片)上的理想取放位置。距這些理想位置的偏移會(huì)隨...
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