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在電子和電氣設(shè)備中使用的有機(jī)材料的正交工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2750931

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已經(jīng)公開(kāi)了用于為有 機(jī)結(jié)構(gòu)形成圖案(patterning)的正交工藝,其利用氟化溶 劑或超臨界CO2作為有機(jī)材料的溶劑。該公開(kāi)的工藝還利用與氟化溶劑結(jié)合的氟化光致抗 蝕劑。氟化光致抗蝕劑可以是間苯二酚杯芳烴、全氟癸基甲基丙烯酸酯和2-硝基芐基甲基 丙烯酸酯的共聚物、其衍生物或其他的具有足夠的氟含量的聚合物光致抗蝕劑或分子玻璃 光致抗蝕劑。氟化的光致抗蝕劑和氟化溶劑用于制造在電子(半導(dǎo)體)和電氣設(shè)備中使用 的各種有機(jī)結(jié)構(gòu)的圖案。例如,這里公開(kāi)的材料和技術(shù)可用...
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