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光刻膠層中減小圖案尺寸的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2754569

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本分案申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2002年7月4日、申請(qǐng)?zhí)枮?2140154.3、發(fā)明名稱為“光刻膠層中減少圖案大小的方法”的分案申請(qǐng)。背景技術(shù)本發(fā)明涉及一種有圖案光刻膠層制備方法的改進(jìn),其中光刻膠層通過(guò)形成圖案后的熱處理而降低了大小。更特別的是,本發(fā)明涉及通過(guò)形成圖案后的處理在光刻法形成圖案的光刻膠層上降低圖案尺寸方法的改進(jìn),其中包括,在基板上的有圖案的光刻膠層上形成水溶性樹脂的涂層,然后將由此涂覆的有圖案光刻膠層進(jìn)行熱處理使光刻膠層進(jìn)行熱收縮,由此降低圖案尺寸,隨...
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